[发明专利]一种半导体探测器芯片探测方法

摘要

本发明涉及芯片测试技术领域，提供了一种半导体芯片探测装置和探测方法。探测方法包括误码仪发出PRBS码型信号，送入可调制光源输入端，可调制光源发出带调制信号的光信号；控制光开关工作状态，选择将光信号送入光功率计以便实时读取光功率值的大小；或者选择将光信号送入光探针，与探测器芯片进行光耦合；通过光衰减器对可调制光源发出光信号的光功率大小进行衰减，并实时从误码仪上读取整个测试装置的误码率状态；得到整个测试装置的灵敏度值。本发明通过对阻抗匹配系统中输入及输出阻抗值的调整，以及可变增益放大器增益倍数的调整，得到系统最终输出灵敏度数值的对应性变化关系，从而得到优选的封装输入输出阻抗匹配参数。

主权项

1.一种半导体芯片探测装置，其特征在于，包括：误码仪、可调制光源、光衰减器、光开关、光功率计、阻抗匹配系统、可变增益放大器、探测器芯片、光探针和限幅放大电路及滤波电路；所述误码仪的输出端连接所述可调制光源，所述可调制光源的输出端在连接所述光衰减器后串联到光开关；所述光开关为三端口器件，包括一个光输入口，和两个光输出口，开启时只有一路输出可用；其中，光输入口连接光衰减器，一路光输出口连接光功率计，用于测量光功率的大小，另一路光输出口连接光探针；所述光探针与探测器芯片的光敏面耦合，所述光探针的另一端连接所述光开关其中一路光输出口；所述光开关的两路光输出端口分别连接所述光功率计和光探针；所述探测器芯片的信号电极与阻抗匹配系统输入端连接；所述阻抗匹配系统的输出端连接可变增益放大器的输入端；所述可变增益放大器的输出端与限幅放大电路及滤波电路的输入端；所述限幅放大电路及滤波电路的输出端连接所述误码仪的输入端。