[发明专利]银蚀刻液组合物、利用它的蚀刻方法及金属图案形成方法有效
| 申请号： | 201811060574.2 | 申请日： | 2018-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN109750292B | 公开（公告）日： | 2022-11-18 |
| 发明（设计）人： | 金镇成;金炼卓;梁圭亨 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/30 | 分类号： | C23F1/30;H01L21/3213;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京市中伦律师事务所 11410 | 代理人： | 杨黎峰;钟锦舜 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种银蚀刻液组合物、利用它的蚀刻方法及形成金属图案的方法，该银蚀刻液组合物相对于组合物的总重量，包含40至70重量％的磷酸、2至9重量％的硝酸、0.1至9重量％的有机酸、0.1至9重量％的无机酸盐或有机酸盐化合物及使组合物的总重量成为100重量％的余量的水，且不包含醋酸。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 组合 利用 方法 金属 图案 形成 | ||
【主权项】：
1.一种银蚀刻液组合物，相对于组合物的总重量，所述银蚀刻液组合物包含40重量％至70重量％的磷酸、2重量％至9重量％的硝酸、0.1重量％至9重量％的有机酸、0.1重量％至9重量％的无机酸盐化合物或有机酸盐化合物及使组合物的总重量成为100重量％的余量的水，且不包含醋酸。
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