[发明专利]检查流量测量系统的方法

摘要

本发明提供一种检查在累加法中利用的流量测量系统是否处于适合于准确求取气体流量的状态的方法。一个实施方式的方法涉及在基板处理系统中使用的检查流量测量系统的方法。流量测量系统提供基于累加法的流量的计算中使用的气体流路。由基板处理系统的气体供给部的流量控制器输出的气体能够向该气体流路供给。在该方法中，除了气体流路的容积的预先所求取的初始值之外，还在流量测量系统的检查时求取该气体流路的容积。并且，将所求取的容积与初始值进行比较。

主权项

1.一种检查在基板处理系统中使用的流量测量系统的方法，其特征在于：所述基板处理系统包括：多个腔室主体；多个气体供给部，其分别向所述多个腔室主体中的对应的腔室主体的内部空间供给气体；和多个排气装置，其分别经由多个排气流路与所述多个腔室主体的内部空间连接，其中，所述气体供给部包括：壳体；设置在所述壳体内的多个流量控制器；包括与所述多个流量控制器的二次侧分别连接的多个第1端部、第2端部和第3端部的第1气体流路，该第1气体流路的所述多个第1端部、所述第2端部和从所述多个第1端部延伸至所述第2端部的部分设置在所述壳体内，所述第3端部设置在所述壳体的外部，且该第1气体流路经由开闭阀与所述对应的腔室主体的所述内部空间连接；和设置在所述壳体内的、与所述第2端部连接的第1阀，所述流量测量系统包括：具有多个第4端部和第5端部的第2气体流路，所述多个第4端部分别与所述多个气体供给部中的对应的气体供给部的所述第1阀连接；测量所述第2气体流路内的压力的第1压力传感器和第2压力传感器；测量所述第2气体流路内的温度的温度传感器；与所述第2气体流路的所述第5端部连接的第2阀；和第3气体流路，其包括与所述第2阀连接的第6端部和分别与所述多个排气流路连接的多个第7端部，所述方法包括：将所述多个气体供给部中的一个气体供给部的所述第1气体流路、所述第2气体流路和所述第3气体流路抽真空的步骤；在实施了抽真空的所述步骤后，在所述一个气体供给部的所述第1气体流路和所述第2气体流路中储存气体的步骤，在该步骤中，打开所述一个气体供给部的所述第1阀，关闭所述第2阀，并关闭与所述一个气体供给部的所述第3端部连接的所述开闭阀；通过实施了储存气体的所述步骤，在所述一个气体供给部的所述第1气体流路和所述第2气体流路中储存了所述气体的状态下，分别使用所述第1压力传感器和所述第2压力传感器，取得所述第2气体流路内的压力的第1测量值和第2测量值的步骤；在实施了取得第1测量值和第2测量值的所述步骤后，将所述第2气体流路内的气体排气的步骤，在该步骤中，关闭所述一个气体供给部的所述第1阀，并打开所述第2阀；在实施了将所述第2气体流路内的气体排气的所述步骤后，使所述一个气体供给部的所述第1气体流路内的气体向所述第2气体流路扩散的步骤，在该步骤中，打开所述一个气体供给部的所述第1阀，并关闭所述第2阀的步骤；通过实施了使气体扩散的所述步骤，在所述一个气体供给部的所述第1气体流路内的气体扩散到了所述第2气体流路中的状态下，分别使用所述第1压力传感器和所述第2压力传感器，取得所述第2气体流路内的压力的第3测量值和第4测量值的步骤；根据所述一个气体供给部的所述第1气体流路的容积的预先所取得的第1初始值、所述第1测量值和所述第2测量值的一者、以及所述第3测量值和所述第4测量值的一者，求取所述第2气体流路的容积的计算值的步骤；和将所述第2气体流路的容积的预先所取得的第2初始值与所述计算值相互比较的步骤。