[发明专利]物理量传感器和传感器器件、便携式电子设备、电子设备及移动体在审
| 申请号： | 201810993602.X | 申请日： | 2018-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN109425335A | 公开（公告）日： | 2019-03-05 |
| 发明（设计）人： | 田中悟 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/5656 | 分类号： | G01C19/5656;G01C19/5663 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 张永明;玉昌峰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 提供能够实现检测精度高灵敏度化以及耐冲击性提高的物理量传感器和传感器器件、便携式电子设备、电子设备及移动体。物理量传感器包括：基板；可动部，能够相对于所述基板在第一方向上位移；第一、第二可动电极部，设置于所述可动部；第一固定电极部，固定于所述基板，与所述第一可动电极部在所述第一方向相对地配置；第二固定电极部，固定于所述基板，与所述第二可动电极部在所述第一方向相对地配置；限制部，限制所述可动部的所述第一方向的可动范围；第一布线，设置于所述基板，与所述第一固定电极部电连接；第二布线，设置于所述基板，与所述第二固定电极部电连接，在俯视观察所述基板时，所述第一、第二布线分别与所述限制部交叉。 | ||
| 搜索关键词： | 基板 固定电极部 物理量传感器 可动电极部 可动部 布线 便携式电子设备 传感器器件 电子设备 方向相对 电连接 移动体 高灵敏度 耐冲击性 向上位移 可动 配置 俯视 检测 | ||
【主权项】：
1.一种物理量传感器，其特征在于，包括：基板；可动部，能够相对于所述基板在第一方向上位移；第一可动电极部以及第二可动电极部，设置于所述可动部；第一固定电极部，固定于所述基板，以与所述第一可动电极部在所述第一方向上相对的方式配置；第二固定电极部，固定于所述基板，以与所述第二可动电极部在所述第一方向上相对的方式配置；限制部，限制所述可动部的所述第一方向的可动范围；第一布线，设置于所述基板，与所述第一固定电极部电连接；以及第二布线，设置于所述基板，与所述第二固定电极部电连接，在俯视观察所述基板时，所述第一布线以及所述第二布线分别与所述限制部交叉。
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