[发明专利]一种蚀刻系统

摘要

本发明公开了一种蚀刻系统，包括运输管路，运输管路上设有进液泵和真空发生器；真空发生器包括三通管和增压管；增压管和后管部的之间设有引流通道，增压管内设有增压通道；吸液管连通吸液组件；运输管路上连通喷液组件；运输管路中设有储液槽，后管部连通储液槽。本发明通过利用运输管路中原有的动力来提供蚀刻废液吸除的真空吸力，无需另设动力部件，节约能耗，且吸除的蚀刻废液能够再次进入蚀刻液的运输管路，再次利用，避免了原材料的浪费，蚀刻废液能够有效清除，蚀刻的精度得到显著提升，加工次品也明显减少。

主权项

1.一种蚀刻系统，其特征在于，包括蚀刻液的运输管路，运输管路上设置有进液泵和真空发生器；真空发生器包括三通管和增压管；三通管的进液端、出液端和外接端对应连接前管部、后管部和吸液管，前管部和后管部是运输管路中的部分管路；增压管的前端设置在前管部的出液口上，增压管的后端和后管部的进液口之间设有能使吸液管与后管部相连通的引流通道，增压管内设置有截面由前端至后端逐渐减小的增压通道，前管部和后管部经增压通道相连通；吸液管的另一端连通用于吸取蚀刻废液的吸液组件；运输管路上连通有用于喷出蚀刻液的喷液组件；运输管路中设置有储液槽，后管部连通储液槽；喷液组件所喷出的一部分蚀刻液扩散至电路板边缘后滴落至储液槽，另一部分蚀刻液依次经吸液组件、吸液管、引流通道和后管部流至储液槽。