[发明专利]一种精密金属掩膜版、蒸镀装置和蒸镀制程有效
| 申请号： | 201810949101.1 | 申请日： | 2018-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN108914058B | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 杜骁 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种精密金属掩膜版，包括支撑框架以及设置在支撑框架上的金属支撑网和至少一个精密金属掩膜条，精密金属掩膜条位于金属支撑网上方，其中，金属支撑网为一体成型结构，金属支撑网上设置有至少一个开口区域，精密金属掩膜条上设置有图形区域，图形区域位于至少一个开口区域的上方且覆盖至少一个开口区域，蒸镀制程中，蒸镀材料依次通过开口区域和图形区域在待蒸镀基板上形成预设蒸镀图案。本发明的精密金属掩膜版中使用一体成型的金属支撑网，可以支撑精密金属掩膜条并阻挡蒸镀材料从相邻精密金属掩膜条之间的间隔处通过；开口区域的形状决定了预设蒸镀图案的形状，因此，通过设置开口区域可以使得精密金属掩膜版用于异形屏的蒸镀中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 精密 金属 掩膜版 装置 蒸镀制程 | ||
【主权项】：
1.一种精密金属掩膜版，用于蒸镀制程，其特征在于，包括支撑框架以及设置在所述支撑框架上的金属支撑网和至少一个精密金属掩膜条，所述精密金属掩膜条位于所述金属支撑网上方，其中，所述金属支撑网为一体成型结构，所述金属支撑网上设置有至少一个开口区域，所述精密金属掩膜条上设置有图形区域，所述图形区域位于至少一个所述开口区域的上方且覆盖至少一个所述开口区域，所述蒸镀制程中，蒸镀材料依次通过所述开口区域和所述图形区域在待蒸镀基板上形成预设蒸镀图案。
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