[发明专利]一种精密金属掩膜版、蒸镀装置和蒸镀制程

说明书

本发明提供了一种精密金属掩膜版，包括支撑框架以及设置在支撑框架上的金属支撑网和至少一个精密金属掩膜条，精密金属掩膜条位于金属支撑网上方，其中，金属支撑网为一体成型结构，金属支撑网上设置有至少一个开口区域，精密金属掩膜条上设置有图形区域，图形区域位于至少一个开口区域的上方且覆盖至少一个开口区域，蒸镀制程中，蒸镀材料依次通过开口区域和图形区域在待蒸镀基板上形成预设蒸镀图案。本发明的精密金属掩膜版中使用一体成型的金属支撑网，可以支撑精密金属掩膜条并阻挡蒸镀材料从相邻精密金属掩膜条之间的间隔处通过；开口区域的形状决定了预设蒸镀图案的形状，因此，通过设置开口区域可以使得精密金属掩膜版用于异形屏的蒸镀中。

技术领域

本发明涉及显示面板技术领域，尤其涉及一种精密金属掩膜版、蒸镀装置和蒸镀制程。

背景技术

近年来，有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)具有自发光、广视角、几乎无穷高的对比度、较低耗电、极高反应速度等优点，在中小尺寸显示领域更有取代液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)的趋势，现阶段中小尺寸的OLED面板大多依赖蒸镀制程，其中在蒸镀制程中用于图形定义的治具为金属掩模版，可分为精密金属掩膜板(Fine Metal Mask，FMM)和通用金属掩模版(Common Metal Mask，CMM)。FMM用于RGB像素定义，主要用于R、G、B发光层和掺杂材料蒸镀，CMM主要作为共通层图形定义装置。

目前，越来越多的相别于传统屏幕形状的异型显示装置的需求日益增加。现如今异型屏幕主要为LCD硬屏，在制造过程中需要使用刀轮切割，导致其生产良率较低。柔性OLED面板可使用激光切割，不存在刀轮切割的诸多缺陷，同时柔性面板裂片通过激光剥离技术脱落，不会造成柔性基板损坏，然而现有蒸镀技术中还未有适用于蒸镀异型屏幕的设备，其主要原因为是还未有异型FMM开发使用。因此，需要一种能够用于异形屏的蒸镀的精密金属掩膜版。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种精密金属掩膜版，包括设置在支撑框架上的金属支撑网和精密金属掩膜条，金属支撑网为一体成型结构，可以支撑精密金属掩膜条并阻挡蒸镀材料从相邻精密金属掩膜条之间的间隔处通过；开口区域的形状决定了预设蒸镀图案的形状，因此，通过设置开口区域可以使得精密金属掩膜版用于异形屏的蒸镀中。

第一方面，本发明提供了一种精密金属掩膜版，包括支撑框架以及设置在所述支撑框架上的金属支撑网和至少一个精密金属掩膜条，所述精密金属掩膜条位于所述金属支撑网上方，其中，所述金属支撑网为一体成型结构，所述金属支撑网上设置有至少一个开口区域，所述精密金属掩膜条上设置有图形区域，所述图形区域位于至少一个所述开口区域的上方且覆盖至少一个所述开口区域，所述蒸镀制程中，蒸镀材料依次通过所述开口区域和所述图形区域在待蒸镀基板上形成预设蒸镀图案。

在本发明中，精密金属掩膜版上的金属支撑网为一体成型结构，其中设置有至少一个开口区域；金属支撑网可以对精密金属掩膜条起到支撑作用；同时，在蒸镀过程中所述金属支撑网可以阻挡蒸镀材料从相邻精密金属掩膜条之间的间隔处通过。在蒸镀过程中，蒸镀材料通过开口区域和图形区域在待蒸镀基板上形成预设蒸镀图案，所述预设蒸镀图案的形状由开口区域的形状决定，所述预设蒸镀图案中RGB像素定义由精密金属掩膜条的图形区域决定。

在本发明中，所述开口区域的形状根据实际需要进行设定。具体的，可以但不限于为矩形、圆角矩形、椭圆形、星形、正多边形、U-Cut设计。可选的，所述开口区域在所述待蒸镀的基板上的正投影与所述预设蒸镀图案的中心重合，且向外延伸50nm-300nm。在本发明中，开口区域的设置使得所述精密金属掩膜版可以用于异形屏的蒸镀。

可选的，所述金属支撑网的外周设置有多个凸起的连接条，所述支撑框架上设置有与多个所述凸起的连接条匹配的多个凹槽，所述凸起的连接条设置在所述凹槽内。

进一步可选的，所述凸起的连接条的长度为30nm-100nm，宽度为5nm-25nm。