[发明专利]解决版图图形偏离栅格线的修正方法

摘要

本发明提供了一种解决版图图形偏离栅格线的修正方法，对于偏离栅格线的目标图形，通过在栅格阵列中定义并连接各个栅格偏离点所对应的栅格修正点获得修正后的图形。本发明可有效解决人工逐条审查修改效率低下的问题。通过使用本发明的修正方法，不但可以修正偏离栅格线的图形，也可以修正版图中的畸形点，使版图可以在光罩上准确刻写。

主权项

1.一种解决版图图形偏离栅格线的修正方法，其特征在于，包括如下步骤：1)提供一目标图形，所述目标图形形成于一栅格阵列中，所述栅格阵列包括由在直角坐标系中沿X轴方向和Y轴方向等间距排列的若干栅格点所构成的矩阵；2)定义一包含所述目标图形的最小矩形，所述最小矩形的边线平行于所述X轴或所述Y轴；3)通过所述最小矩形的边线两侧的栅格点，分别沿平行于所述X轴方向和所述Y轴方向作垂直于所述最小矩形的边线的垂线，将所述垂线与所述目标图形的交点定义为栅格偏离点；4)将距离所述栅格偏离点最近的栅格点定义为栅格修正点，得到所述目标图形上的所有所述栅格偏离点所对应的所述栅格修正点；5)将相邻所述栅格修正点沿所述X轴方向和/或所述Y轴方向作连接线相连接，以得到修正后图形。