[发明专利]机械手的校准方法、校准装置和半导体处理设备有效
| 申请号： | 201810863883.7 | 申请日： | 2018-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN110788852B | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 杨雄 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B25J9/16 | 分类号： | B25J9/16;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;姜春咸 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种机械手的校准方法、装置和半导体处理设备。包括控制机械手进入粗略取片位以取测试晶片，并记录机械手在粗略取片位时的粗略伸缩半径和粗略旋转角度；控制机械手将测试晶片放置到直线性校准器上以进行校准，获得测试晶片的圆心偏移量和旋转角度偏移量；根据粗略伸缩半径、粗略旋转角度、圆心偏移量和旋转角度偏移量，确定机械手的精确取片位。能够实现自动快速找到粗略取片位，并能够自动快速的确定机械手在各个工艺位的精确取片位，从而可以避免由于人为因素导致的工艺位误差，也便于后期设备维护。 | ||
| 搜索关键词： | 机械手 校准 方法 装置 半导体 处理 设备 | ||
【主权项】：
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