[发明专利]母板及其制备方法、显示基板有效

专利信息
申请号: 201810847232.9 申请日: 2018-07-27
公开(公告)号: CN108962961B 公开(公告)日: 2021-01-01
发明(设计)人: 徐国芳;李铸毅;刘恒博;蔡璐 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
主分类号: H01L27/32 分类号: H01L27/32
代理公司: 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 代理人: 赵天月
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了母板及其制备方法、显示基板。该母板包括:基板,所述基板上限定出多个沿所述基板的行和列排布的区域;多个标志块,多个所述标志块设置在所述基板的边缘处,以及相邻两个沿所述基板的行排布的区域的交界处,或者相邻两个沿所述基板的列排布的区域的交界处,所述标志块具有平整的表面;有源层,所述有源层与所述标志块同层设置;以及栅氧化层,所述栅氧化层覆盖所述标志块以及所述有源层远离所述基板一侧的表面。由此,可以基于该母板上的标志块进行栅氧化层厚度的测试,保证测试数据的准确性,且能够实现工艺过程中对栅氧化层厚度的及时监控,保证补偿后电流的均匀性,使得应用该母板的显示装置具有均匀的显示亮度。
搜索关键词: 母板 及其 制备 方法 显示
【主权项】:
1.一种母板,其特征在于,包括:基板,所述基板上限定出多个沿所述基板的行和列排布的区域;多个标志块,多个所述标志块设置在所述基板的边缘处,以及相邻两个沿所述基板的行排布的区域的交界处,或者相邻两个沿所述基板的列排布的区域的交界处,所述标志块具有平整的表面;有源层,所述有源层与所述标志块同层设置;以及栅氧化层,所述栅氧化层覆盖所述标志块以及所述有源层远离所述基板一侧的表面。
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