[发明专利]一种三维计算机闪存设备及其制作方法

摘要

本发明公开了一种三维计算机闪存设备及其制作方法，本发明技术方案中，将衬底上方的栅极结构分为两部分，第一部分栅极结构直接通过先金属栅工艺制备，第二部分栅极结构通过后金属栅工艺制备，相对于传统的完全采用先金属栅工艺或是完全采用后金属栅工艺，大大降低了工艺难度。

主权项

1.一种三维计算机闪存设备的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括：提供一衬底；在所述衬底上沉积至少一层第一金属栅极层；基于所述第一金属栅极层形成第一部分栅极结构；在所述第一部分栅极结构表面形成阻挡层；在所述阻挡层表面形成至少一层假栅层；基于所述假栅层形成第二部分栅极结构，所述第二部分栅极结构包括至少一层第二金属栅极层。