[发明专利]温度梯度法生长稀土倍半氧化物晶体的热场装置及生长稀土倍半氧化物晶体的温度梯度方法在审
申请号: | 201810818121.5 | 申请日: | 2018-07-24 |
公开(公告)号: | CN108893776A | 公开(公告)日: | 2018-11-27 |
发明(设计)人: | 徐军;赵衡煜;徐晓东;李东振;王东海 | 申请(专利权)人: | 南京同溧晶体材料研究院有限公司 |
主分类号: | C30B11/02 | 分类号: | C30B11/02;C30B29/22 |
代理公司: | 南京中律知识产权代理事务所(普通合伙) 32341 | 代理人: | 沈振涛 |
地址: | 210000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供用于温度梯度法生长稀土倍半氧化物晶体的热场装置,包括基座、保温桶、石墨硬毡保温层、第一支架、第二支架、坩埚、上保温层、感应加热线圈;保温桶固定于基座上;石墨硬毡保温层设置于保温桶内,且石墨硬毡保温层中部设有坩埚放置孔;第一支架穿过基座和石墨硬毡保温层,且第一支架顶部位于坩埚放置孔内;第二支架设于第一支架底部;坩埚置于坩埚放置孔内,且底部与第一支架顶部接触;上保温层设于保温桶的顶部;感应加热线圈环设于保温桶外侧壁上。该热场装置使用中频感应的加热方式,设计了合适的保温层为基础的热场环境,使得温度梯度呈现一个上热下冷的渐变过程,保证了晶体的定向生长。 | ||
搜索关键词: | 保温层 保温桶 坩埚 石墨硬毡 晶体的 支架 稀土倍半氧化物 热场装置 放置孔 感应加热线圈 温度梯度法 上保温层 温度梯度 支架顶部 生长 定向生长 加热方式 热场环境 中频感应 外侧壁 渐变 环设 架设 穿过 保证 | ||
【主权项】:
1.温度梯度法生长稀土倍半氧化物晶体的热场装置,其特征在于:包括基座(1)、保温桶(2)、石墨硬毡保温层(3)、第一支架(4)、第二支架(5)、坩埚(6)、上保温层(7)、感应加热线圈(8);所述保温桶(2)固定于基座(1)上;所述石墨硬毡保温层(3)设置于保温桶(2)内,且石墨硬毡保温层(3)中部设有坩埚放置孔(9);所述第一支架(4)穿过基座(1)和石墨硬毡保温层(3),且第一支架(4)顶部位于坩埚放置孔(9)内;所述第二支架(5)设于第一支架(4)底部;所述坩埚(6)置于坩埚放置孔(9)内,且底部与第一支架(4)顶部接触;所述上保温层(7)设于保温桶(2)的顶部;所述感应加热线圈(8)环设于保温桶(2)外侧壁上。
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