[发明专利]基板冷却装置

摘要

本揭示提供了一种基板冷却装置。基板冷却装置包括腔室组件、电极、基板、气体导入系统以及气体导出系统。电极设置于腔室组件中，且电极包括多个流入通孔及多个流出通孔。基板设置于腔室组件中及电极上。基板及电极之间形成缝隙，且缝隙与流入通孔及所流出通孔连通。气体导入系统用于将温度调整气体导入流入通孔和缝隙。气体导出系统用于从缝隙和流出通孔导出温度调整气体，藉此温度调整气体可流动通过基板以带走基板上的热量。本揭示能提供较佳的基板冷却效果。

主权项

1.一种基板冷却装置，其特征在于，所述基板冷却装置包括：腔室组件；电极，设置于所述腔室组件中，且所述电极包括多个流入通孔及多个流出通孔；基板，设置于所述腔室组件中及所述电极上，所述基板及所述电极之间形成缝隙，且所述缝隙与所述流入通孔及所述流出通孔连通；气体导入系统，用于将温度调整气体导入所述流入通孔和所述缝隙；以及气体导出系统，用于从所述缝隙和所述流出通孔导出所述温度调整气体，藉此所述温度调整气体可流动通过所述基板以带走所述基板上的热量。