[发明专利]基于热马兰哥尼效应的晶圆干燥装置和干燥方法

摘要

本发明公开了一种基于热马兰哥尼效应的晶圆干燥装置和干燥方法，其中晶圆干燥装置包括：水槽，用于容纳去离子水；晶圆提拉装置，用于从去离子水中提拉晶圆；氮气源；氮气喷射系统，用于提拉晶圆时，对晶圆与去离子水的弯液面区域喷射热氮气，以在弯液面区域诱导温度梯度产生沿弯液面向下的热马兰哥尼流动，实现卷吸水膜剥离，进而实现晶圆超洁净干燥；控制器，用于控制晶圆提拉装置、氮气源和氮气喷射系统。本发明通过使用绿色环保的热氮气取代可燃、可爆且有毒的有机蒸汽进行Marangoni干燥，无需配备保护装置，简化供给系统，提升了安全性；晶圆提拉装置从两个位置固定并分步提拉晶圆，避免夹具晶圆接触区无法干燥，实现晶圆完全干燥。

主权项

1.一种基于热马兰哥尼效应的晶圆干燥装置，其特征在于，包括：水槽，用于容纳去离子水；晶圆提拉装置，用于从所述去离子水中提拉晶圆；氮气源，用于提供第一温度的氮气；氮气喷射系统，与所述氮气源相连，用于在所述晶圆从所述去离子水中提升时，对所述晶圆与所述去离子水的弯液面区域喷射所述第一温度的氮气，以在所述弯液面区域诱导温度梯度而产生沿所述弯液面向下的热Marangoni流动，进而对所述晶圆进行干燥处理；以及控制器，用于控制所述晶圆提拉装置、所述氮气源和所述氮气喷射系统。