[发明专利]蚀刻组合物和使用该蚀刻组合物的布线的形成方法有效
| 申请号： | 201810637712.2 | 申请日： | 2018-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN109112543B | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 朴种熙;金真锡;李凤源;金相佑;朴一龙;元凤渊;李大雨 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司;株式会社东进世美肯 |
| 主分类号： | C23F1/30 | 分类号： | C23F1/30;H01L27/12 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 王慧敏;程月 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种无磷酸蚀刻组合物和一种形成布线的方法，所述组合物包括：大约40wt％至大约60wt％的有机酸化合物；大约6wt％至大约12wt％的二醇化合物；大约1wt％至大约10wt％的硝酸、硫酸或盐酸；大约1wt％至大约10wt％的硝酸盐化合物；以及水，所有的wt％是基于无磷酸蚀刻组合物的总重量。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 组合 使用 布线 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种无磷酸蚀刻组合物，所述无磷酸蚀刻组合物包括：40wt％至60wt％的有机酸化合物；6wt％至12wt％的二醇化合物；1wt％至10wt％的硝酸、硫酸或盐酸；1wt％至10wt％的硝酸盐化合物；以及水，所有的wt％是基于所述无磷酸蚀刻组合物的总重量。
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