[发明专利]图像传感器在审

专利信息
申请号: 201810503286.3 申请日: 2018-05-23
公开(公告)号: CN109285848A 公开(公告)日: 2019-01-29
发明(设计)人: 金昶和;朴世廷;金政勋;朴商秀;边炅来;李范硕 申请(专利权)人: 三星电子株式会社
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 张波
地址: 韩国*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 一种图像传感器包括设置在半导体基板上并具有开口的绝缘图案、设置在绝缘图案的开口内的滤色器、设置在滤色器上的盖绝缘层、设置在盖绝缘层上并具有与滤色器重叠的部分的第一电极、围绕第一电极的侧表面的分隔结构、以及设置在第一电极上的光电层。分隔结构包括由不同材料形成的第一绝缘层和第二绝缘层。
搜索关键词: 绝缘层 第一电极 滤色器 图像传感器 分隔结构 绝缘图案 开口 半导体基板 材料形成 侧表面 光电层
【主权项】:
1.一种图像传感器,包括:绝缘图案,其设置在半导体基板上并且具有开口;滤色器,其设置在所述绝缘图案的所述开口中;盖绝缘层,其设置在所述滤色器上;第一电极,其设置在所述盖绝缘层上并且具有与所述滤色器重叠的部分;分隔结构,其围绕所述第一电极的侧表面;以及光电层,其设置在所述第一电极上,其中所述分隔结构包括由不同材料形成的第一绝缘层和第二绝缘层。
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