[发明专利]一种基于铜箔的柔性BST薄膜变容管及制备方法在审
| 申请号： | 201810403118.7 | 申请日： | 2018-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN108417393A | 公开（公告）日： | 2018-08-17 |
| 发明（设计）人： | 曹树谦;孙永涛;于仕辉;丁千;孙建桥;张天程;王斌;龚宝明 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | H01G7/06 | 分类号： | H01G7/06;C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 刘子文 |
| 地址： | 300350 天津市津南区海*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于铜箔的柔性BST薄膜变容管及制备方法，柔性BST薄膜变容管由从上到下依次设置的金属电极、BST薄膜层、二氧化锡层和铜箔组成，其介电调谐率≥40％@10kHz，介电损耗<0.05，在柔性曲率半径为3.0mm时，性能变化率≤10％。该薄膜变容管性能优良，成本低廉，适合工业化生产。解决了BST制备柔性薄膜变容管的技术难题。 | ||
| 搜索关键词： | 变容管 铜箔 制备 调谐 二氧化锡层 从上到下 技术难题 介电损耗 金属电极 柔性薄膜 性能变化 依次设置 介电 薄膜 | ||
【主权项】：
1.一种基于铜箔的柔性BST薄膜变容管，其特征在于，所述柔性BST薄膜变容管由从上到下依次设置的金属电极、BST薄膜层、二氧化锡层和铜箔组成，柔性BST薄膜变容管的介电调谐率≥40％，频率在10kHz以下，介电损耗<0.05，在柔性曲率半径为3.0mm时，性能变化率≤10％。
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