[发明专利]装载设备和其操作方法

摘要

一种用于处理含有多个晶片的晶片载具的装载设备和一种装载设备操作方法。操作方法包含以下步骤。将晶片载具装载到装载设备的载台上。载台被配置成承载晶片载具，且可移动地耦接到装载设备的主体，以移动到主体的空间内并移动出所述空间。载台在待机位置、上升位置和中间位置之间竖直地移动；在空间内部将载台从中间位置水平地移动到门接合位置；将载台定位在门接合位置处，以及打开晶片载具的载具门。将载台从门接合位置水平地移动到中间位置，以及在打开载具门之后，在空间外部的上升位置与卸载位置之间水平地移动载台。

主权项

1.一种用于处理含有多个晶片的晶片载具的装载设备的操作方法，其特征在于，所述操作方法包括：将所述晶片载具装载到所述装载设备的载台上，其中所述载台被配置成承载所述晶片载具且可移动地耦接到所述装载设备的主体，以移动到所述主体的空间内并移动出所述空间；在待机位置、上升位置和中间位置三者之间竖直地移动所述载台，其中所述中间位置在所述主体的所述空间内部；在所述主体的所述空间内部，将所述载台从所述中间位置水平地移动到门接合位置；将所述载台定位在所述门接合位置处并打开所述晶片载具的载具门；将所述载台从所述门接合位置水平地移动到所述中间位置；以及在打开所述晶片载具的所述载具门之后，在所述主体的所述空间外部的所述上升位置与卸载位置之间水平地移动所述载台。