[发明专利]基于多维视觉传感器的真空机械手防碰撞检测系统的检测方法有效
| 申请号： | 201810365980.3 | 申请日： | 2018-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN108274469B | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 吴成东;弓源;姜杨;贾子熙;于晓升;迟剑宁;高娜 | 申请（专利权）人： | 东北大学 |
| 主分类号： | B25J9/16 | 分类号： | B25J9/16;B25J19/02 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 赵淑梅;李洪福 |
| 地址： | 110819 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于多维视觉传感器的真空机械手防碰撞检测系统的检测方法，包括：真空机械手设备系统；x‑y轴高清监测摄像头，用于检测真空机械手x‑y轴水平面运动位置和姿态的变化；z轴高清监测摄像头，于所述真空机械手侧面垂直放置，用于检测真空机械手伸缩轴方向上的位置变化。本发明所述的基于多维视觉传感器的真空机械手防碰撞检测系统的检测方法，通过建立视觉系统并向控制系统实时反馈真空机械手的位置、速度、加速度等信息，当真空机械手的位置状态异常出现在安全警戒区域时，视觉系统向控制系统发送异常警示信号，使控制系统能够及时控制停止当前机械手的运作，从而保证设备系统的安全，尽可能避免相应的潜在损失。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 多维 视觉 传感器 真空 机械手 碰撞 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于多维视觉传感器的真空机械手防碰撞检测系统，其特征在于包括：真空机械手设备系统，用于搭载、搬运晶圆；x‑y轴高清监测摄像头，安装于所述真空机械手设备系统中真空机械手的工作台面正上方，用于检测真空机械手x‑y轴水平面运动位置和姿态的变化；z轴高清监测摄像头，于所述真空机械手侧面垂直放置，用于检测真空机械手伸缩轴方向上的位置变化；摄像头配套支架，用于支撑所述x‑y轴高清监测摄像头和z轴高清监测摄像头；PC机图像数据处理器，实时监控处理所述x‑y轴高清监测摄像头和z轴高清监测摄像头采集的图像数据信息，并与控制系统完成通信，传递真空机械手的位姿状态信息，构建起控制链层级上的反馈回路；当所述控制系统获得真空机械手的位置信息，并实时判断其处于危险状态，控制系统采取保护措施，控制真空机械手停止工作。
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