[发明专利]用于砷化镓半导体的结染色溶液及其结染色方法有效
| 申请号： | 201810304929.1 | 申请日： | 2018-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN108485668B | 公开（公告）日： | 2021-01-22 |
| 发明（设计）人： | 庄翌圣;蔡齐航;巫永仁 | 申请（专利权）人： | 苏试宜特（上海）检测技术有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/06 | 分类号： | C09K13/06;H01L21/306;G01N1/30 |
| 代理公司： | 上海唯源专利代理有限公司 31229 | 代理人： | 曾耀先 |
| 地址： | 201100 上海市闵*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明提供一种用于砷化镓半导体的结染色溶液及其结染色方法，所述结染色溶液包括由重量比值为1.5～4的硫酸(H |
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| 搜索关键词： | 用于 砷化镓 半导体 染色 溶液 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于砷化镓半导体的结染色溶液，其特征在于，包括：第一溶液，包括重量比值为1.5～4的硫酸(H2SO4)和过氧化氢(H2O2)，所述第一溶液用以进行第一次选择性蚀刻；第二溶液，包括重量比值为0.5～7的柠檬酸(C6H8O7)和过氧化氢(H2O2)，所述第二溶液用以进行第二次选择性蚀刻。
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