[发明专利]控制与半导体制造装置相关的显示的方法及系统有效
| 申请号： | 201810291332.8 | 申请日： | 2018-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN108693844B | 公开（公告）日： | 2020-09-18 |
| 发明（设计）人： | 藤木雅之;青山英治;小泉龙也 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 张丽颖 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在半导体制造装置中，提供能够简单理解怎样达到了某种状况、例如故障的动画。提供一种计算机程序，在一个以上计算机执行控制与半导体制造装置相关的显示的方法，包含如下步骤：反复获取半导体制造装置所包含的一个以上的设备的状态；每获取一次一个以上的设备的状态时，至少将表示状态的图像显示在显示器上，由此提供表示半导体制造装置的动作的第一动画；将所获取的一个以上的设备的状态和与状态相关的时刻存储于存储器；接收切换显示模式的输入；在收到切换显示模式的输入后，至少将分别表示存储于存储器的、与包含基准时刻的一个以上的时刻相关的一个以上的设备的状态的一个以上的图像逐一显示在显示器上，由此提供半导体制造装置的第二动画。 | ||
| 搜索关键词： | 控制 半导体 制造 装置 相关 显示 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种执行控制与半导体制造装置相关的显示的方法的计算机程序，该计算机程序在一个以上计算机中执行，其特征在于，所述方法包含如下步骤：反复获取所述半导体制造装置所包含的一个以上的设备的状态的步骤；每获取一次所述一个以上的设备的状态时，至少将表示所述状态的图像显示在显示器上，由此提供表示所述半导体制造装置的动作的第一动画的步骤；将所获取的所述一个以上的设备的状态、和与所述状态相关的时刻存储于存储器的步骤；接收切换显示模式的输入的步骤；以及在收到切换显示模式的输入之后，至少将一个以上的图像逐一显示在所述显示器，由此提供表示所述半导体制造装置的动作的第二动画的步骤，其中，所述一个以上的图像分别表示存储于所述存储器的、与包含基准时刻的一个以上的时刻相关的所述一个以上的设备的状态。
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