[发明专利]树脂组合物、包括其的基板、元件及其制造方法有效

专利信息
申请号: 201810268393.2 申请日: 2018-03-28
公开(公告)号: CN108732831B 公开(公告)日: 2022-08-16
发明(设计)人: 若林隆太郎;仓田亮平;三村时生;本田晃久 申请(专利权)人: JSR株式会社
主分类号: G02F1/1362 分类号: G02F1/1362;G02F1/1333;H01L27/32;G03F7/004
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 彭雪瑞;臧建明
地址: 日本东京港*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供一种具备在高温处理时难以白化且抑制了逸气的产生的层间绝缘膜的薄膜晶体管基板、具备其的液晶显示元件或有机EL元件、及可适宜地形成所述层间绝缘膜的感放射线性树脂组合物以及薄膜晶体管基板的制造方法。本发明是涉及一种薄膜晶体管基板,其包含:基板;薄膜晶体管,配置于所述基板上;及层间绝缘膜,配置于所述薄膜晶体管上;并且所述薄膜晶体管基板中,所述层间绝缘膜包含具有下述式(1)所表示的结构的聚合体。式(1)中,R1表示包含杂原子的二价连结基,R2表示包含芳香环的一价有机基;*表示键结部位。
搜索关键词: 树脂 组合 包括 元件 及其 制造 方法
【主权项】:
1.一种薄膜晶体管基板,包含:基板;薄膜晶体管,配置于所述基板上;及层间绝缘膜,配置于所述薄膜晶体管上;并且所述薄膜晶体管基板的特征在于,所述层间绝缘膜包含具有下述式(1)所表示的结构的聚合体,式(1)中,R1表示包含杂原子的二价连结基,R2表示包含芳香环的一价有机基;*表示键结部位。
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