[发明专利]用于微控制器的平面长条型纳米热电发电机

摘要

本发明的用于微控制器的平面长条型纳米热电发电机，衬底为N型硅片，制作有热电堆的P型臂2，热电堆的N型臂3，聚甲基丙烯酸甲酯4，第一氮化硅隔离层5，金属铝连接线6，第二氮化硅隔离层7和散热板8。其中，正负电极如图2所示进行连接，通过金属铝6将P型热电臂2与N型热电臂3连接起来，具体地热电堆是由一系列的P型多晶硅纳米线簇和N型多晶硅纳米线簇构成的，详见图2中的局部放大。本发电机通过热电转换，可以对微控制器工作时产生的热耗损功率进行回收，采用的硅纳米的热导率远低于传统体材料，实现了一边维持电子运输，一边抑制热量输送，提高了热电发电效率，最后，上述过程中产生的电能还能为微控制器附近的低功耗设备供电。

主权项

1.一种用于微控制器的平面长条型纳米热电发电机，其特征是：该纳米热电发电机制作于N型硅衬底(1)上，衬底上制作有热电堆的P型臂(2)，热电堆的N型臂(3)，聚甲基丙烯酸甲酯(4)，第一氮化硅隔离层(5)，金属铝连接线(6)，第二氮化硅隔离层(7)和散热板(8)，其中，热电堆是由一系列的P型多晶硅纳米线簇和N型多晶硅纳米线簇构成的；热电堆的P型臂(2)和热电堆的N型臂(3)中的多晶硅纳米线簇含有的纳米线数量为50‑200，多晶硅纳米线由深紫外光刻形成，直径为1‑100nm，高度为2‑10um；热电堆电极材料为金，金属板(8)材料为铝；采用的纳米硅薄膜的热导率远低于传统体材料，可以实现一边维持电子运输，一边抑制热量输送，从而极大的提高了热电发电效率。