[发明专利]应用于光电子封装的冗余驱动平面运动平台有效
| 申请号： | 201810204447.9 | 申请日： | 2018-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN108493294B | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | 段吉安;周海波;张威;孔志平;侯富龙 | 申请（专利权）人： | 中南大学 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/68 |
| 代理公司： | 11002 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王莹;吴欢燕 |
| 地址： | 410083 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明提供一种应用于光电子封装的冗余驱动平面运动平台，包括：载物台以及沿第一方向和第二方向分别对称设置于所述载物台两侧的直线电机；沿第一方向对称设置于所述载物台两侧的所述直线电机用于带动所述载物台沿第二方向运动；沿第二方向对称设置于所述载物台两侧的所述直线电机用于带动所述载物台沿第一方向运动。本发明避免了因搭载运动构件而增加直线电机负载的情况，使得各直线电机的运动速度、加速度和启停精度不会受到影响。同时，由于直线电机的对称设置，直线电机数目翻倍，可为载物台提供更快的运动速度、更大的加速度和更高的启停精度，进而可提高光电子封装的效率和精度。 | ||
| 搜索关键词： | 直线电机 光电子封装 对称设置 方向对称 平面运动 冗余驱动 载物台 启停 台沿 运动构件 应用 | ||
【主权项】：
1.一种应用于光电子封装的冗余驱动平面运动平台，其特征在于，包括：载物台以及沿第一方向和第二方向分别对称设置于所述载物台两侧的直线电机；/n沿第一方向对称设置于所述载物台两侧的所述直线电机用于带动所述载物台沿第二方向运动；/n沿第二方向对称设置于所述载物台两侧的所述直线电机用于带动所述载物台沿第一方向运动；/n所述运动平台还包括基板；每一所述直线电机的定子固定于所述载物台上，每一所述直线电机的动子固定于所述基板上；/n所述定子包括上板和下板；所述动子为长柱状，位于所述上板和下板之间；/n所述运动平台还包括辅助运动架，所述辅助运动架固定于所述基板上；/n所述载物台通过所述辅助运动架在所述基板上运动；/n所述辅助运动架用于减小所述载物台相对所述基板运动时的阻力。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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