[发明专利]应用于光电子封装的冗余驱动平面运动平台

权利要求书

1.一种应用于光电子封装的冗余驱动平面运动平台，其特征在于，包括：载物台以及沿第一方向和第二方向分别对称设置于所述载物台两侧的直线电机；

沿第一方向对称设置于所述载物台两侧的所述直线电机用于带动所述载物台沿第二方向运动；

沿第二方向对称设置于所述载物台两侧的所述直线电机用于带动所述载物台沿第一方向运动；

所述运动平台还包括基板；每一所述直线电机的定子固定于所述载物台上，每一所述直线电机的动子固定于所述基板上；

所述定子包括上板和下板；所述动子为长柱状，位于所述上板和下板之间；

所述运动平台还包括辅助运动架，所述辅助运动架固定于所述基板上；

所述载物台通过所述辅助运动架在所述基板上运动；

所述辅助运动架用于减小所述载物台相对所述基板运动时的阻力。

2.根据权利要求1所述的运动平台，其特征在于，所述上板和下板平行设置且分别固定于转接板的上面和下面，并通过所述转接板与所述载物台连接；所述上板和下板远离所述载物台的一侧均长于所述转接板远离所述载物台的一侧。

3.根据权利要求2所述的运动平台，其特征在于，所述动子两端固定于所述基板上；所述动子位于所述上板和下板以及所述载物台在远离所述载物台的一侧形成的空间内，平行且长于所述上板和下板远离所述载物台的一侧的边。

4.根据权利要求1所述的运动平台，其特征在于，所述辅助运动架包括:滚珠承载台、若干滚珠和滚珠限位板；

所述滚珠承载台固定于所述基板上，用于承载所述若干滚珠；

所述滚珠限位板固定于所述滚珠承载台上，用于使每一滚珠保持原地转动。

5.根据权利要求4所述的运动平台，其特征在于，所述辅助运动架还包括滚珠保护板；

所述滚珠保护板固定于所述滚珠承载台上，用于避免任一滚珠离开所述滚珠承载台。

6.根据权利要求1所述的运动平台，其特征在于，所述运动平台还包括运动测量装置，用于测量所述载物台相对所述基板在第一方向或第二方向运动的距离。

7.根据权利要求6所述的运动平台，其特征在于，所述运动测量装置为2D光栅尺；所述2D光栅尺的标尺设置于任一直线电机的下板的下表面，所述2D光栅尺的读数头设置于所述基板上以配合所述标尺。