[发明专利]应用于光电子封装的冗余驱动平面运动平台

说明书

本发明提供一种应用于光电子封装的冗余驱动平面运动平台，包括：载物台以及沿第一方向和第二方向分别对称设置于所述载物台两侧的直线电机；沿第一方向对称设置于所述载物台两侧的所述直线电机用于带动所述载物台沿第二方向运动；沿第二方向对称设置于所述载物台两侧的所述直线电机用于带动所述载物台沿第一方向运动。本发明避免了因搭载运动构件而增加直线电机负载的情况，使得各直线电机的运动速度、加速度和启停精度不会受到影响。同时，由于直线电机的对称设置，直线电机数目翻倍，可为载物台提供更快的运动速度、更大的加速度和更高的启停精度，进而可提高光电子封装的效率和精度。

技术领域

本发明涉及光电子封装技术领域，更具体地，涉及一种应用于光电子封装的冗余驱动平面运动平台。

背景技术

光电子器件是光纤通信中的核心器件，具体使用时需要分别与输入阵列光纤和输出阵列光纤连接。光电子器件分别与输入阵列光纤和输出阵列光纤的连接为光电子封装。光电子封装是利用运动平台上的负载装夹机构将光电子器件与输入阵列光纤或输出阵列光纤进行光学对准耦合的过程。其中，运动平台的运动速度、加速度和启停精度决定了光电子封装的效率和精度。

现有技术中常采用的传统运动平台为载物台搭载于X(或Y)方向的运动构件上，在X(或Y)方向对应直线电机的作用下在X(或Y)方向的运动构件上沿X(或Y)方向运动；X(或Y)方向的运动构件搭载于Y(或X)方向的运动构件上，在Y(或X)方向对应直线电机的作用下在Y(或X)方向的运动构件上沿Y(或X)方向运动，从而带动载物台沿Y(或X)方向运动。

上述传统运动平台由于X(或Y)方向的运动构件搭载于Y(或X)方向的运动构件上，加重了Y(或X)方向对应直线电机的负载，使得Y(或X)方向对应直线电机的运动速度、加速度和启停精度受到影响，进而降低光电子封装的效率和精度。

发明内容

本发明提供一种应用于光电子封装的冗余驱动平面运动平台，以克服现有技术中，传统运动平台由于X(或Y)方向的运动构件搭载于Y(或X)方向的运动构件上，加重了Y(或X)方向对应直线电机的负载，使得Y(或X)方向对应直线电机的运动速度、加速度和启停精度受到影响，进而降低光电子封装的效率和精度的问题。

根据本发明的一个方面，提供一种应用于光电子封装的冗余驱动平面运动平台，包括：载物台以及沿第一方向和第二方向分别对称设置于所述载物台两侧的直线电机；沿第一方向对称设置于所述载物台两侧的所述直线电机用于带动所述载物台沿第二方向运动；沿第二方向对称设置于所述载物台两侧的所述直线电机用于带动所述载物台沿第一方向运动。

其中，所述运动平台还包括基板；每一所述直线电机的定子固定于所述载物台上，每一所述直线电机的动子固定于所述基板上。

其中，所述定子包括上板和下板；所述动子为长柱状，位于所述上板和下板之间。

其中，所述上板和下板平行设置且分别固定于转接板的上面和下面，并通过所述转接板与所述载物台连接；所述上板和下板远离所述载物台的一侧均长于所述转接板远离所述载物台的一侧。

其中，所述动子两端固定于所述基板上；所述动子位于所述上板和下板以及所述载物台在远离所述载物台的一侧形成的空间内，平行且长于所述上板和下板远离所述载物台的一侧的边。

其中，所述运动平台还包括辅助运动架，所述辅助运动架固定于所述基板上；所述载物台通过所述辅助运动架在所述基板上运动；所述辅助运动架用于减小所述载物台相对所述基板运动时的阻力。

其中，所述辅助运动架包括:滚珠承载台、若干滚珠和滚珠限位板；所述滚珠承载台固定于所述基板上，用于承载所述若干滚珠；所述滚珠限位板固定于所述滚珠承载台上，用于使每一滚珠保持原地转动。

其中，所述辅助运动架还包括滚珠保护板；所述滚珠保护板固定于所述滚珠承载台上，用于避免任一滚珠离开所述滚珠承载台。