[发明专利]电可编程熔丝结构以及半导体器件有效
| 申请号： | 201810189694.6 | 申请日： | 2018-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN108493182B | 公开（公告）日： | 2019-05-07 |
| 发明（设计）人： | 陈面国 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/525 | 分类号： | H01L23/525;H01L27/115 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种电可编程熔丝结构以及半导体器件。由于电可编程熔丝结构中其阴极具有多个可实现电子流分流的导电分支，从而使阴极能够允许较大的电子流，因此可相应的增加其与熔丝链在连接点处的电子流梯度，有利于提高熔丝链在连接点处的电迁移率。并且，多个导电分支还可加快阴极的散热效率以降低阴极的温度，从而可增加阴极和熔丝链在连接点处的温度梯度，在较大的温度梯度的加成作用下进一步提高了熔丝链在连接点处的电迁移率，使熔丝链能够在电迁移的作用下熔断并避免熔丝链发生爆裂的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 熔丝链 阴极 连接点处 电可编程熔丝 电迁移 半导体器件 导电分支 温度梯度 熔断 散热效率 爆裂 加成 分流 | ||
【主权项】：
1.一种电可编程熔丝结构，其特征在于，包括一阴极、一熔丝链和一阳极，所述阴极和所述阳极经由所述熔丝链相互连接，并且所述阴极和所述熔丝链在一连接点处相互连接；其中，所述阴极包含多条导电分支，以排列出一收敛侧和一发散侧，所述阴极的所述收敛侧连接至所述连接点以和所述熔丝链连接。
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