[发明专利]从晶硅切割废料中回收碳化硅和氧化锆复合晶须的方法

摘要

本发明涉及一种从晶硅切割废料中回收碳化硅和氧化锆复合晶须的方法，包括以下步骤：将晶硅切割废料与有机溶剂、耐高温热塑性树脂混匀，过滤后得到固体废料；其中，晶硅切割废料中包括硅、氧化锆、铁、聚乙二醇和水；将固体废料烘干、烧结后研磨，得到粒径为1‑2μm的原料粉体；其中，原料粉体中包括硅、氧化锆和铁；将原料粉体与植物纤维在惰性气体中进行放电等离子烧结，惰性气体的压强为100‑800Pa，在1100‑1600℃下反应10‑40min，得到碳化硅和氧化锆复合晶须。本发明的方法料取自工业废料，其回收利用可以降低环境污染，在制备高强度碳化硅和氧化锆复合晶须的同时可以获得氧化锆磨料，该方法工艺简单、制备效率高、成本较低。

主权项

1.一种从晶硅切割废料中回收碳化硅和氧化锆复合晶须的方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)将所述晶硅切割废料与有机溶剂和纳米级耐高温热塑性树脂混匀，过滤后得到固体废料；其中，所述晶硅切割废料中包括硅、氧化锆、铁、聚乙二醇和水；所述纳米级耐高温热塑性树脂在1100‑1600℃下不发生降解、分解或碳化；(2)将所述固体废料烘干、烧结后研磨，得到粒径为1‑2μm的原料粉体；其中，所述原料粉体中包括硅、氧化锆和铁；(3)将所述原料粉体与植物纤维在惰性气体中进行放电等离子烧结，所述惰性气体的压强为100‑800Pa，在1100‑1600℃下反应10‑40min，得到所述碳化硅和氧化锆复合晶须。