[发明专利]一种MEMS传感器悬梁结构

摘要

本发明公开了一种MEMS传感器悬梁结构，包括底部硅板、顶部硅板，所述底部硅板下表面边缘设置有底部垫脚，所述底部硅板上表面设置有多晶硅层，所述多晶硅层上表面设置有隔离胶，所述隔离胶上表面中部设置有顶柱，所述顶柱上方设置有横梁，所述横梁上方设置有所述顶部硅板，所述顶部硅板上方设置有顶部压板，所述顶部压板一端侧面设置有销柱，所述销柱外侧设置有锁块，所述底部硅板上设置有屏蔽电极，所述多晶硅层上表面边缘设置有振动感应片，所述振动感应片外部设置有外保护膜。有益效果在于：可以加快信号的响应速度，提高所述横梁的强度，延长使用寿命，同时可以对传感器的振动频率和幅度进行检测，方便了解传感器的使用性能。

主权项

1.一种MEMS传感器悬梁结构，其特征在于：包括底部硅板(1)、顶部硅板(6)，所述底部硅板(1)下表面边缘设置有底部垫脚(13)，所述底部硅板(1)上表面设置有多晶硅层(2)，所述多晶硅层(2)上表面设置有隔离胶(9)，所述隔离胶(9)上表面中部设置有顶柱(5)，所述顶柱(5)上方设置有横梁(8)，所述横梁(8)上方设置有所述顶部硅板(6)，所述顶部硅板(6)上方设置有顶部压板(7)，所述顶部压板(7)一端侧面设置有销柱(4)，所述销柱(4)外侧设置有锁块(3)，所述底部硅板(1)上设置有屏蔽电极(12)，所述多晶硅层(2)上表面边缘设置有振动感应片(11)，所述振动感应片(11)外部设置有外保护膜(10)。