[发明专利]一种对过渡金属硫族化物进行光学简并掺杂的方法及其应用有效
申请号: | 201810117999.6 | 申请日: | 2018-02-06 |
公开(公告)号: | CN110120440B | 公开(公告)日: | 2022-01-04 |
发明(设计)人: | 刘晶;张荣杰 | 申请(专利权)人: | 天津大学 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/032;H01L31/113 |
代理公司: | 天津创智天诚知识产权代理事务所(普通合伙) 12214 | 代理人: | 王秀奎 |
地址: | 300072*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明公开了一种对过渡金属硫族化物进行光学简并掺杂的方法及其应用,通过在二维材料表面电子束蒸发沉积金纳米层,并在高温退火处理后在TMDc材料表面形成润湿性良好的金纳米薄膜。在紫外光的辐照下,金纳米层的电子由于外光电效应溢出并注入到半导体层,多余的电子对半导体形成了稳定的N型掺杂。在撤除紫外光照后,光生的富余电子仍保留在材料内,使得这种掺杂方式具有长期稳定性,同时,这种方法具有普适性,能应用于多种N型的TMDc材料。这种快速,简便,通用,稳定的掺杂新方法为二维半导体材料的研究打开了新的思路。 | ||
搜索关键词: | 一种 过渡 金属 硫族化物 进行 光学 掺杂 方法 及其 应用 | ||
【主权项】:
1.一种对过渡金属硫化物进行光学简并掺杂的方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1,将纳米厚度的过渡金属硫化物薄片转移到基底上;步骤2,在步骤1所得器件上沉积金纳米层;步骤3,将步骤2得到的器件进行退火处理,自室温20℃~25℃起始以5~15℃/min的速度进行升温至300℃~400℃,保温20~40分钟后,自然冷却至室温。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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