[发明专利]基板搬运装置、基板处理装置以及基板搬运方法

摘要

本发明涉及一种基板搬运装置、基板处理装置以及基板搬运方法，部分位置计算部基于第一检测器至第五检测器的检测信号，计算基板的第一部分至第五部分在手部上的位置。假想圆计算部根据第一部分至第四部分的位置分别计算4个假想圆，计算各假想圆的中心位置。基板位置判断部计算多个中心位置之间的多个偏移量。在多个偏移量均为阈值以下的情况下，基板位置判断部基于4个假想圆中的某假想圆或者全部假想圆，判断基板在手部上的位置。在多个偏移量中的至少一个超过阈值的情况下，基板位置判断部选择4个假想圆中的经过第五部分的位置的假想圆，基于所选择的假想圆，判断基板在手部上的位置。基于判断结果，控制基板的搬运动作。

主权项

1.一种基板搬运装置，用于搬运基板，具有：可动部；第一驱动部，使所述可动部移动；保持部，保持基板；第二驱动部，使所述保持部相对于所述可动部移动；第一检测器、第二检测器、第三检测器、第四检测器以及第五检测器，分别检测由所述保持部保持的基板的外周部的彼此不同的第一部分、第二部分、第三部分、第四部分以及第五部分；以及搬运控制部，在搬运基板时，控制所述第一驱动部和所述第二驱动部，所述搬运控制部包括：部分位置计算部，基于所述第一检测器、所述第二检测器、所述第三检测器、所述第四检测器以及所述第五检测器的输出信号，分别计算所述第一部分、所述第二部分、所述第三部分、所述第四部分以及所述第五部分在所述保持部上的位置；假想圆计算部，分别计算在由所述部分位置计算部计算出的所述第一部分的位置、所述第二部分的位置、所述第三部分的位置以及所述第四部分的位置中的彼此不同的3个部分的位置经过的4个假想圆；位置判断部，基于所述假想圆计算部所计算出的4个假想圆与所述部分位置计算部所计算出的所述第五部分的位置，判断所述保持部上的基板的位置；以及移动控制部，基于所述位置判断部所判断出的基板的位置，控制所述第一驱动部和所述第二驱动部。