[发明专利]金属碎屑检测装置及金属掩膜版搬送装置

摘要

本发明涉及一种金属碎屑检测装置及金属掩膜版搬送装置。其中，所述金属碎屑检测装置包括：用以检测金属碎屑的电路板，其中电路板包括基板以及设置在基板上的若干金属引线；所述检测装置还包括用于连接所述金属引线的信号控制器以及与信号控制器电性连接的连接插头，所述连接插头用于输出信号控制器的反馈信号。根据本发明提供的实施例，通过在基板上设置金属引线，并结合信号控制器、连接插头以构成金属碎屑检测装置。该金属碎屑检测装置利用金属碎屑的导电性，对金属碎屑进行检测，检测工序简单易行。

主权项

1.一种金属碎屑检测装置，其特征在于，包括：用以检测金属碎屑的电路板，其中电路板包括基板(8)以及设置在基板(8)上的若干金属引线(9)；所述检测装置还包括用于连接所述金属引线(9)的信号控制器(10)以及与信号控制器(10)电性连接的连接插头(11)，所述连接插头(11)用于输出信号控制器(10)的反馈信号。