[发明专利]一种柔性太阳能电池及其制备方法

摘要

本申请公开了一种柔性太阳能电池及其制备方法，所述柔性太阳能电池的制备方法无需利用键合工艺实现柔性衬底和支撑衬底的固定贴合，降低了由于键合金属与柔性衬底之间的热膨胀系数差异较大而出现翘曲的程度，改善了制备的柔性太阳能电池的整体性能。另外，通过旋涂的方式在柔性衬底和支撑衬底上设置粘接剂可以去除粘接剂中的气泡，并且获得厚度均匀的粘接剂层，避免粘接剂中的气泡在后续的高温工艺中溢出而对外延结构产生不良影响的情况。

主权项

1.一种柔性太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括：提供半导体衬底，所述半导体衬底上设置有反向层叠设置的外延结构；提供柔性衬底和支撑衬底；分别在所述柔性衬底和支撑衬底的一侧表面旋涂粘接剂；将所述柔性衬底旋涂粘接剂的表面与所述支撑衬底旋涂粘接剂的表面贴合；对贴合完成后的支撑衬底和柔性衬底进行压合处理；在所述柔性衬底背离所述支撑衬底一侧形成第一键合金属层；在所述外延结构背离所述半导体衬底一侧形成第二键合金属层；利用所述第一键合金属层和第二键合金属层，键合所述柔性衬底与所述外延结构；去除所述半导体衬底，并完成后续制程。