[发明专利]一种柔性太阳能电池及其制备方法

说明书

本申请公开了一种柔性太阳能电池及其制备方法，所述柔性太阳能电池的制备方法无需利用键合工艺实现柔性衬底和支撑衬底的固定贴合，降低了由于键合金属与柔性衬底之间的热膨胀系数差异较大而出现翘曲的程度，改善了制备的柔性太阳能电池的整体性能。另外，通过旋涂的方式在柔性衬底和支撑衬底上设置粘接剂可以去除粘接剂中的气泡，并且获得厚度均匀的粘接剂层，避免粘接剂中的气泡在后续的高温工艺中溢出而对外延结构产生不良影响的情况。

技术领域

本申请涉及半导体技术领域，更具体地说，涉及一种柔性太阳能电池及其制备方法。

背景技术

柔性太阳能电池，是薄膜太阳能电池的一种，在BIPV(Building IntegratedPhotovoltaic，光伏建筑一体化)领域应用广泛。

柔性太阳能电池通常由柔性衬底、外延结构以及电极结构构成，对于砷化镓系柔性太阳能电池而言，由于柔性衬底的耐高温性普遍较差，并且与外延结构的晶格失配问题严重等问题，在制备过程中需要首先在一半导体衬底上反向制备外延结构，将柔性衬底和支撑衬底键合，然后将柔性衬底背离支撑衬底一侧与外延结构背离半导体衬底一侧键合，最后去除半导体衬底，并完成后续制程，形成电极结构。

在这种传统的柔性太阳能电池的制备工艺中，由于柔性衬底的上下表面均需要制备键合金属以进行与支撑衬底和外延结构的键合，而由于柔性衬底的热膨胀系数与金属材料的热膨胀系数差异较大，柔性衬底表面蒸镀键合金属后，会出现翘曲，且应力无法释放，导致制作的砷化镓柔性太阳能电池芯片不平整，给太阳能电池的整体性能带来不良影响。

发明内容

为解决上述技术问题，本申请提供了一种柔性太阳能电池及其制备方法，以实现降低由于键合金属与柔性衬底之间的热膨胀系数差异较大而出现翘曲的程度，改善制备的柔性太阳能电池的整体性能。

为实现上述技术目的，本申请实施例提供了如下技术方案：

一种柔性太阳能电池的制备方法，包括：

提供半导体衬底，所述半导体衬底上设置有反向层叠设置的外延结构；

提供柔性衬底和支撑衬底；

分别在所述柔性衬底和支撑衬底的一侧表面旋涂粘接剂；

将所述柔性衬底旋涂粘接剂的表面与所述支撑衬底旋涂粘接剂的表面贴合；

对贴合完成后的支撑衬底和柔性衬底进行压合处理；

在所述柔性衬底背离所述支撑衬底一侧形成第一键合金属层；

在所述外延结构背离所述半导体衬底一侧形成第二键合金属层；

利用所述第一键合金属层和第二键合金属层，键合所述柔性衬底与所述外延结构；

去除所述半导体衬底，并完成后续制程。

可选的，所述分别在所述柔性衬底和支撑衬底的一侧表面旋涂粘接剂包括：

提供硅氧烷胶水；

对所述硅氧烷胶水进行搅拌和真空脱泡处理；

利用搅拌和真空脱泡处理后的硅氧烷胶水分别在所述柔性衬底和支撑衬底的一侧表面旋涂，以在所述柔性衬底和支撑衬底一侧表面形成硅氧烷胶水层。

可选的，所述利用搅拌和真空脱泡处理后的硅氧烷胶水分别在所述柔性衬底和支撑衬底的一侧表面旋涂的旋涂的具体参数包括：

旋涂转速大于或等于2000转每分钟，旋涂时间大于或等于10秒。

可选的，所述将所述柔性衬底旋涂粘接剂的表面与所述支撑衬底旋涂粘接剂的表面贴合包括：

将所述支撑衬底设置于一固定平面；