[发明专利]一种高输出功率的YAG晶体的制备方法在审

专利信息
申请号: 201810055793.5 申请日: 2018-01-20
公开(公告)号: CN110067025A 公开(公告)日: 2019-07-30
发明(设计)人: 陈晓达;王根强;孙健 申请(专利权)人: 河北胤丞光电科技有限公司
主分类号: C30B29/28 分类号: C30B29/28;C30B15/00;H01S3/16
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 053000 河北省衡水市经济开发*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 发明公开一种高输出功率的YAG晶体的制备方法,采用本发明方法制备Yb:YAG激光晶体,可以方便地观察晶体的生长状况;由于升温平缓,晶体在熔体表面处生长,而不与坩埚相接触,这样能显著地减小晶体的应力,并防止坩埚的寄生成核,使得晶形较佳,晶体内部应力平衡,不易出现晶体断裂的现象由于Yb:YAG激光晶体得到了充分的补氧,进而使Yb:YAG激光晶体的激光输出功率得到了大幅提高;同时,由于在抛光加工过程中,使用了抛光液,可加快溶解作用,浸蚀整平,消除磨痕。
搜索关键词: 制备 高输出功率 晶体的 坩埚 激光输出功率 内部应力平衡 抛光加工过程 熔体表面 生长状况 断裂的 抛光液 补氧 成核 寄生 减小 浸蚀 晶形 磨痕 整平 溶解 生长 观察
【主权项】:
1.一种高输出功率的YAG晶体的制备方法,其特征在于,包括步骤:(1)将Yb:YAG激光晶体原料投入到铱坩锅中,将铱坩锅抽取真空至‑0.05MPa,并输入高纯氩气正压保护,对铱坩锅进行升温加热,至450~600℃,持续2小时后,将铱坩锅进行加热至750~900℃,持续3小时后,将铱坩锅进行加热至1050~1300℃,持续2小时;(2)当Yb:YAG激光晶体原料开始融化,以每小时50℃的速率升温,直至Yb:YAG激光晶体垫料完全融化后,保温1小时;继续以每小时80℃的速率升温当铱坩锅内温度到2000~2100℃左右停止加热;(3)再次对铱坩锅添加Yb:YAG激光晶体原料,观察铱坩锅内状况,二次融化料后维持恒温,在籽晶杆上安放一颗籽晶,让籽晶接触熔融液面,待籽晶表面稍熔后,降低温度至熔点,提拉并转动籽晶杆,使熔体顶部处于过冷状态而结晶于籽晶上,在不断提拉和旋转过程中,生长出圆柱状晶体,待晶体生长至设定长度后停炉,提起晶体恒温保持1‑2h;(4)将步骤(3)中生长好的Yb:YAG激光晶体棒放入真空退火炉内,用真空泵将真空退火炉抽取真空至‑0.07MPa,打开充气装置,通过真空管向真空退火炉内供输氮气和氧气的体积比为1:1的混合气体;(5)以5℃/min的升温速率,对真空退火炉进行温度升温,升温至1450℃,保温5小时,并提高真空退火炉内的补氧量,进行恒温补氧;(6)以6℃/min的降温速率,对真空退火炉进行降温,降温至600℃,后,关闭真空泵和真空退火炉,然后随炉冷却至室温;(7)取出步骤(6)得到的Yb:YAG激光晶体,用干涉仪观察该Yb:YAG激光晶体的干涉条纹,若干涉条纹不是直线条,则重复以上步骤,直至干涉条纹为直线条为止;(8)对步骤(7)制得的Yb:YAG激光晶体进行抛光,使用吸管点加抛光液至正在抛光的Yb:YAG激光晶体,当抛光加工完成后,用水将Yb:YAG激光晶体表面的抛光液冲洗;(9)在反应釜内放置漆片50份,然后加入酒精25份充分稀释融化至饱和状态后,再加入白灰粉15份均匀搅拌后,将步骤(10)所得的Yb:YAG激光晶体放入浸泡1小时;(10)将Yb:YAG激光晶体捞出,放入马弗炉中在145~220℃下加温2小时取出,静置降温后,再将Yb:YAG激光晶体用去离子水清洗。
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