[发明专利]用于半导体测试的自由活塞斯特林冷却器温度控制系统有效
| 申请号： | 201810028522.0 | 申请日： | 2018-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN108302836B | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | T·F·莱姆克兹克;D·L·韦斯顿;C·A·洛佩斯;R·A·戴维斯 | 申请（专利权）人： | 森萨塔科技公司 |
| 主分类号： | F25B9/14 | 分类号： | F25B9/14 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 曾祥生 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于半导体装置测试的便携式冷却系统和设备，其包括自由活塞斯特林冷却器。这消除了对诸如冷却装置、压缩机、冷却剂存储设备、软管和软管连接等繁琐的远程设备的需求。电力线路和空气供应线路从头部控制单元路由到便携式系统控制单元。头部控制单元通过可调节框架结构定位，以将斯特林冷却器竖直地直接定位在被测半导体装置上方。头部控制单元包括热适配器系统，其被配置在自由活塞斯特林冷却器和被测半导体装置之间。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 半导体 测试 自由 活塞 斯特林 冷却器 温度 控制系统 | ||
【主权项】：
1.一种便携式半导体冷却设备，其包括：自由活塞斯特林冷却器；支撑构件，所述支撑构件被配置为用于将所述自由活塞斯特林冷却器以竖直取向直接定位在待测半导体装置上方；以及热适配器，所述热适配器联接到所述自由活塞斯特林冷却器并被配置为联接到所述被测半导体装置。
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