[发明专利]用于半导体测试的自由活塞斯特林冷却器温度控制系统

权利要求书

1.一种便携式半导体冷却设备，其包括：

自由活塞斯特林冷却器；

支撑构件，所述支撑构件被配置为用于将所述自由活塞斯特林冷却器以竖直取向直接定位在被测半导体装置上方；

热适配器，所述热适配器联接到所述自由活塞斯特林冷却器并被配置为联接到所述被测半导体装置；以及

可调节支撑框架，所述可调节支撑框架包括所述支撑构件，所述可调节支撑框架被配置为用于将所述自由活塞斯特林冷却器定位和取向在靠近所述被测半导体装置的固定位置中。

2.根据权利要求1所述的设备，其包括联接到所述自由活塞斯特林冷却器的便携式系统控制单元。

3.根据权利要求2所述的设备，其包括在所述便携式系统控制单元和所述自由活塞斯特林冷却器之间延伸的电力线路。

4.根据权利要求3所述的设备，其包括在所述便携式系统控制单元和所述自由活塞斯特林冷却器之间延伸的空气供应线路。

5.根据权利要求4所述的设备，其中所述电力线路和所述空气供应线路由所述支撑构件支撑。

6.根据权利要求1所述的设备，其中所述自由活塞斯特林冷却器竖直地悬置在所述被测半导体装置上方。

7.根据权利要求6所述的设备，其包括：

支撑框架基部，所述支撑框架基部与所述可调节支撑框架联接，所述支撑框架基部包括系统控制单元支撑结构；和

系统控制单元，所述系统控制单元由所述系统控制单元支撑结构支撑。

8.根据权利要求7所述的设备，其包括电力线路和空气供应线路，所述电力线路和所述空气供应线路从所述自由活塞斯特林冷却器经由所述可调节支撑框架内的缆线路径延伸到所述系统控制单元。

9.一种便携式半导体冷却设备，其包括：

自由活塞斯特林冷却器；

支撑构件，所述支撑构件被配置为用于将所述自由活塞斯特林冷却器直接定位在被测半导体装置上方；

热适配器，所述热适配器联接到所述自由活塞斯特林冷却器并被配置为联接到所述被测半导体装置；

便携式系统控制单元，所述便携式系统控制单元经由在所述便携式系统控制单元和所述自由活塞斯特林冷却器之间延伸的电力线路并且经由在所述便携式系统控制单元和所述自由活塞斯特林冷却器之间延伸的空气供应线路联接到所述自由活塞斯特林冷却器，其中所述电力线路和所述空气供应线路由所述支撑构件支撑；

可调节支撑框架，所述可调节支撑框架包括所述支撑构件，所述可调节支撑框架被配置为用于将所述自由活塞斯特林冷却器定位和取向在靠近所述被测半导体装置的固定位置中；

支撑框架基部，所述支撑框架基部与所述可调节支撑框架联接，所述支撑框架基部包括系统控制单元支撑结构；和

其中，所述便携式系统控制单元由所述系统控制单元支撑结构支撑。

10.一种冷却被测半导体装置的方法，所述方法包括：

将自由活塞斯特林冷却器定位在所述被测半导体装置附近；

将所述自由活塞斯特林冷却器取向在靠近所述被测半导体装置的固定位置中；

将热适配器定位在所述自由活塞斯特林冷却器与所述被测半导体装置之间，使得所述热适配器直接抵靠所述被测半导体装置；

将便携式系统控制单元定位在所述自由活塞斯特林冷却器附近；

经由电力供应线路和空气供应线路将所述自由活塞斯特林冷却器联接到所述便携式系统控制单元；以及

配置所述便携式系统控制单元，以经由所述电力供应线路和所述空气供应线路向所述自由活塞斯特林冷却器提供电力和空气来操作所述自由活塞斯特林冷却器。

11.根据权利要求10所述的方法，其还包括配置所述便携式系统控制单元以监测所述自由活塞斯特林冷却器的操作状况。