[发明专利]一种发光二极管波长控制方法有效
| 申请号： | 201810012659.7 | 申请日： | 2018-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN108258091B | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 李丹丹 | 申请（专利权）人： | 苏州达亚电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/04 | 分类号： | H01L33/04;H01L33/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙) 31297 | 代理人： | 李昌霖 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种发光二极管波长控制方法，包括以下步骤：对沉积量子阱结构时设定一预设温度，该预设温度为载片盘表面预设温度并对应一标准温度，该标准温度为衬底表面标准温度；获取沉积量子阱结构时载片盘表面实际温度和衬底表面实际温度；根据获取的衬底表面实际温度与衬底表面标准温度差值对预设温度进行修正，得一修正温度；输出所述修正温度使载片盘表面实际温度等于修正温度。本发明利用探测到的衬底表面温度对载片盘表面温度进行修正，在量产过程中即使前后批次衬底翘曲不同，也能保持发光二极管波长的一致性，提高了产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 发光二极管 波长 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种发光二极管波长控制方法，其特征在于，包括以下步骤：对沉积量子阱结构时设定一预设温度，该预设温度为载片盘表面预设温度并对应一标准温度，该标准温度为衬底表面标准温度；获取沉积量子阱结构时载片盘表面实际温度和衬底表面实际温度；根据获取的衬底表面实际温度与衬底表面标准温度差值对预设温度进行修正，得一修正温度；输出所述修正温度使载片盘表面实际温度等于修正温度。
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