[发明专利]组合物及二氧化硅质膜的制造方法

摘要

本发明的课题在于提供一种组合物和使用了该组合物的二氧化硅质膜的制造方法，所述组合物即使在较低温度的烧成条件下也能稳定地提供膜质良好的二氧化硅质膜。本发明涉及的组合物包含(A)聚硅氮烷、和(B)以下的式(B)表示的含有咪唑基的化合物。

主权项

1.组合物，其包含：(A)聚硅氮烷，和(B)以下的式(B)表示的含有咪唑基的化合物；式(B)中，Ar为可以具有取代基的芳香族基团，Rb1为氢原子、卤素原子、羟基、巯基、硫醚基、甲硅烷基、硅烷醇基、硝基、亚硝基、亚磺基、磺基、磺酸盐/酯基、膦基、氧膦基、膦酰基、膦酸盐/酯基、或有机基团，Y为以下的式(B‑y)表示的咪唑环或氢原子，Z为以下的式(B‑y)表示的咪唑环或‑ORb3表示的基团，Y或Z中的任一者为所述咪唑环，当Y为所述咪唑环时，为单键；当Z为所述咪唑环时，为碳‑碳双键，Rb3为氢原子或有机基团，式(B‑y)中，*表示与所述式(B)中的与Y或Z相邻的碳原子进行键合的化学键，Rb2各自独立地为氢原子、卤素原子、羟基、巯基、硫醚基、甲硅烷基、硅烷醇基、硝基、亚硝基、磺酸盐/酯基、膦基、氧膦基、膦酸盐/酯基、或有机基团。