[发明专利]研磨用组合物和研磨方法有效
| 申请号： | 201780074856.5 | 申请日： | 2017-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN110023449B | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 杉田规章;松下隆幸 | 申请（专利权）人： | 霓达杜邦股份有限公司 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;B24B37/00;C09G1/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王铭浩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种可进一步减少研磨后的晶片的微小缺陷和雾度的研磨用组合物。研磨用组合物包含二氧化硅粒子、无机碱性化合物、聚甘油、和多链型的聚氧化烯烷基醚。多链型的聚氧化烯烷基醚优选为选自聚氧化烯甲基葡萄糖苷、和聚氧化烯聚甘油醚中的至少一种。无机碱性化合物也可为选自碱金属的氢氧化物、碱金属的盐、碱土金属的氢氧化物、碱土金属的盐中的至少一种。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 组合 方法 | ||
【主权项】：
1.一种研磨用组合物，其包含：二氧化硅粒子、无机碱性化合物、聚甘油、和多链型的聚氧化烯烷基醚。
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