[发明专利]临时固定粘接剂和部件制造方法在审
申请号: | 201780073390.7 | 申请日: | 2017-11-30 |
公开(公告)号: | CN110023447A | 公开(公告)日: | 2019-07-16 |
发明(设计)人: | 福地胜;吉野政志;小田切邦彦;岩崎章 | 申请(专利权)人: | DNP精细化工股份有限公司 |
主分类号: | C09J193/04 | 分类号: | C09J193/04;C09J193/02;H01L21/304 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 崔立宇;庞东成 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种临时固定粘接剂,其能够将作为加工对象的各种部件前体良好地临时固定于加工用基板上,还提供一种具备能够将晶片的被研磨面高精度地研磨的研磨工序的晶片制造方法。临时固定粘接剂包含松香、虫胶、作为碳原子数为5以下的醇的低级醇、和作为在分子内具有2个以上羟基的醇的衍生物的多元醇衍生物,另外,部件制造方法具备:使用上述临时固定粘接剂,在部件前体与加工用基板之间形成粘接用涂膜,在上述加工用基板上临时固定上述部件前体的临时固定工序;和对在上述临时固定工序中临时固定于上述加工用基板的上述部件前体的被加工面进行加工的加工工序。 | ||
搜索关键词: | 临时固定 粘接剂 基板 前体 加工 部件制造 研磨 多元醇衍生物 被加工面 加工对象 加工工序 晶片制造 碳原子数 松香 低级醇 研磨面 虫胶 晶片 涂膜 粘接 羟基 | ||
【主权项】:
1.一种临时固定粘接剂,其特征在于,所述临时固定粘接剂包含:松香;虫胶;低级醇,其为碳原子数为5以下的醇;和多元醇衍生物,其为在分子内具有2个以上羟基的醇的衍生物。
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