[发明专利]用于使基板同时旋转和悬浮的非接触式基板载体

摘要

公开了用于在基板的沉积和/或蚀刻期间使基板（130）同时旋转和悬浮的系统（100）和对应的方法。系统（100）包括位于基板（130）下方的载体（110），其中，载体（110）包括至少两个气体入口（110）以向基板（130）的底表面提供气体来使基板悬浮在载体上方。系统进一步包括至少一个保持构件（120），该保持构件连接到载体（110）并且被构造成限制基板（130）的水平漂移。

主权项

1.一种用于在基板（130）的沉积和/或蚀刻期间使所述基板（130）同时旋转和悬浮的系统（100；200；300；310；330），所述基板（130）具有底表面和顶表面，其中，所述系统（100）包括：加热器（301、302；302、312），所述加热器被构造成将热施加到所述基板（130）的底表面和施加到所述基板（130）的顶表面，所述加热器（301、302；302、312）包括位于所述基板（130）下方的载体（110），其中，所述载体（110）包括至少三个气体入口（111）以向所述基板的底表面提供气体，以使所述基板（130）悬浮在所述载体（110）上方并且以同时使所述基板（130）旋转；以及至少一个保持构件（120；121；401至406），所述保持构件连接到所述载体（110）并且被构造成限制所述基板（130）的水平漂移。