[发明专利]用于将至少部分铁磁性的电子元件从载体非接触式地转移至基板的装置和方法有效
| 申请号： | 201780060806.1 | 申请日： | 2017-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN109791910B | 公开（公告）日： | 2023-07-21 |
| 发明（设计）人： | 汉斯-彼得·孟瑟;西格蒙德·尼克拉斯 | 申请（专利权）人： | 米尔鲍尔有限两合公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/68;H01L23/00;H01L21/683;H05K13/02 |
| 代理公司： | 北京华夏正合知识产权代理事务所(普通合伙) 11017 | 代理人： | 韩登营 |
| 地址： | 德国罗*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 根据本发明的装置和方法用于使用磁性组件将铁磁性的电子元件从载体转移到基板。磁性组件被设计和布置成有助于将至少部分铁磁性的电子元件正确地定位在基板上。由磁性组件产生的磁场产生了从载体朝向基板定向的磁力，所述磁力有助于元件从载体转移到基板，使得与不采用所述磁力的转移相比，实现了元件的定位准确度的显著提高。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 至少 部分 铁磁性 电子元件 载体 接触 转移 至基板 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.用于将至少部分铁磁性的电子元件(1)从分发载体(2)转移至接收基板(3)的装置，其中所述装置包括：用于所述分发载体(2)的第一保持固定装置(4),所述载体构造和布置成将至少部分铁磁性的电子元件(1)保持在所述载体的面对所述基板(3)的一侧,并且其中所述第一保持固定装置位于距第二保持固定装置(5)的预定距离处；用于所述接收基板(3)的第二保持固定装置(5),所述基板(3)构造和布置成在基板(3)上的为此预定的座(6)处接收所述元件(1)中的一个；以及脱离单元(7,7**),其构造和布置成每个情况下至少支持所述元件(1)中的一个从所述载体(2)脱离,以使所述元件(1)转移至所述基板(3)；以及磁性装置(8,8*,8**),所述磁性装置(8,8*,8**)如此相对于用于所述基板(3)的所述第二保持固定装置(5)定位，使得由所述磁性装置(8,8*,8**)产生的磁场(9,9*,9**)至少在转移所述元件(1)的期间对所述元件(1)施加从所述载体(2)指向所述基板(3)的磁吸引力,其中,所述吸引力至少支持将所述元件(1)放置到所述基板(3)上的为此预定的所述座(6)上。
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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