[发明专利]固化膜形成组合物有效

专利信息
申请号: 201780057983.4 申请日: 2017-09-20
公开(公告)号: CN109715747B 公开(公告)日: 2022-02-01
发明(设计)人: 汤川昇志郎;星野有辉 申请(专利权)人: 日产化学株式会社
主分类号: C09D133/26 分类号: C09D133/26;C08F22/38;C08L33/24;C09D7/61;C09D201/04;G03F7/20;H01L29/786;H01L51/05;H01L51/30
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 杨宏军;李国卿
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 固化膜形成用树脂组合物,其特征在于,含有作为(A)成分的包含来自具有下述式(1)的结构的第1单体的结构单元的聚合物、作为(B)成分的光产酸剂、作为(C)成分的微粒、及溶剂。(式中,R1表示氢或甲基,R2表示能与其所键合的氧原子一同脱离的有机基团。)。就所述固化膜形成用树脂组合物而言,所形成的固化膜具有高疏液性(憎液性),能通过较少的紫外线曝光量容易地改变亲疏液性,而且,即使相对于表面张力高的液体而言,亲液部也具有高亲液性,另外,对有机溶剂具有耐溶剂性。
搜索关键词: 固化 形成 组合
【主权项】:
1.固化膜形成用树脂组合物,其特征在于,含有:作为(A)成分的包含来自具有下述式(1)的结构的第1单体的结构单元的聚合物,作为(B)成分的光产酸剂,作为(C)成分的微粒,及溶剂,[化学式30]式中,R1表示氢或甲基,R2表示能与其所键合的氧原子一同脱离的有机基团。
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