[发明专利]集成发射率传感器的对准特性

摘要

本发明的工件对准系统具有用来支撑工件的工件支撑件。第一发光器朝向工件引导第一光束。第一受光器接受第一光束。旋转装置使工件支撑件绕支轴旋转。第二发光器朝向工件的外围区域引导第二光束。在工件旋转的同时，第二受光器接受第二光束。控制器基于第一光束的总初始发射率和第一光束透过工件的透射量来确定工件透射率。控制器至少部分基于工件的旋转位置、所接受的第二光束的一部分和所确定的透射率来确定工件相对于支轴的位置。

主权项

1.一种工件对准系统，包括：第一发光设备，其配置成沿第一路径朝向与工件相关联的工件平面的第一侧引导第一光束；第一受光设备，其沿第一路径定位并配置成在工件平面的第二侧上接受第一光束，其中，所述第二侧与所述第一侧相反；工件支撑件，其配置成沿工件平面选择性支撑工件；旋转装置，其可操作地耦接至工件支撑件并配置成选择性使工件支撑件绕支轴旋转；第二发光设备，其定位于工件平面的第一侧和第二侧中的一侧上并配置成沿第二路径引导第二光束，其中，所述第二路径与工件的外围区域相关联；第二受光设备，其配置成在工件支撑件旋转的同时接受第二光束；以及控制器，其配置成当工件与第一路径完全相交时，基于出自第一发光设备的第一光束的总初始发射率以及由第一受光设备透过工件所接受的第一光束的透射量，确定工件透射率，且其中，所述控制器进一步配置成当工件被支撑并经由工件支撑件旋转时，确定工件相对于支轴的位置，其中，确定工件的位置至少部分是基于工件支撑件的旋转位置、与工件支撑件的旋转位置相关联的由第二受光设备所接受的第二光束的至少一部分以及工件透射率。