[发明专利]激光照射装置、激光照射方法以及半导体器件制造方法

摘要

根据本发明一种实施方式的激光照射装置(1)具有：生成激光束的激光生成装置(14)；使待由所述激光束照射的工件(16)浮起的浮起单元(10)；以及对所述已浮起工件(16)进行传送的传送单元(11)。所述传送单元(11)在不与所述激光束的照射位置(15)交叠的位置处将所述工件(16)保持于其上的同时，对该工件(16)进行传送。采用本发明一种实施方式的激光照射装置(1)可减小激光束的不均匀照射。

主权项

1.一种激光照射装置，其特征在于，包括：一激光生成装置，用于生成激光束；一浮起单元，用于使一工件浮起，所述工件用于被所述激光束照射；以及一传送单元，用于对浮起的所述工件进行传送，其中，所述传送单元在一平面视角下不与所述激光束的照射位置交叠的位置处，将所述工件保持于所述传送单元上的同时，对所述工件进行传送，所述浮起单元设有一旋转机构，所述旋转机构在对所述工件的一水平表面进行保持的同时，对所述工件进行旋转，以及所述激光照射装置在以所述传送单元传送所述工件并以所述激光束照射所述工件后，以所述旋转机构旋转所述工件并再次传送所述工件，以使得所述工件被所述激光束照射。