[发明专利]感光性树脂组合物及其制备的固化膜有效
申请号: | 201780046228.6 | 申请日: | 2017-08-10 |
公开(公告)号: | CN109478017B | 公开(公告)日: | 2023-05-09 |
发明(设计)人: | 罗钟昊;许槿;权真;梁钟韩 | 申请(专利权)人: | 罗门哈斯电子材料韩国有限公司 |
主分类号: | G03F7/022 | 分类号: | G03F7/022;G03F7/021;G03F7/039;G03F1/48;G03F7/16;G03F7/20;H10K59/12 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陈哲锋;胡嘉倩 |
地址: | 韩国忠*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种感光性树脂组合物及其制备的固化膜。除常规硅氧烷聚合物以及1,2‑二迭氮醌化合物以外,感光性树脂组合物另外包含热酸产生剂,且二迭氮醌化合物的重氮基萘醌基团(DNQ)与硅氧烷聚合物之间的氢键可以利用由热酸产生剂产生的酸来裂解,即使在固化膜制备期间不执行光褪色处理。因此,当使用感光性树脂组合物时,可以有效地提供具有较高透射率以及较高分辨率的固化膜,且对工艺设备无任何限制。另外,当由热酸产生剂产生的酸基为具有‑5或小于‑5的pKa值的强酸时,可以使固化膜的透射率增加最大化。 | ||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 及其 制备 固化 | ||
【主权项】:
1.一种感光性树脂组合物,包括:(A)硅氧烷聚合物;(B)1,2‑二迭氮醌化合物;以及(C)热酸产生剂,其具有‑5到‑24的pKa值。
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