[发明专利]感光性树脂组合物及其制备的固化膜

说明书

本发明涉及一种感光性树脂组合物及其制备的固化膜。除常规硅氧烷聚合物以及1,2‑二迭氮醌化合物以外，感光性树脂组合物另外包含热酸产生剂，且二迭氮醌化合物的重氮基萘醌基团(DNQ)与硅氧烷聚合物之间的氢键可以利用由热酸产生剂产生的酸来裂解，即使在固化膜制备期间不执行光褪色处理。因此，当使用感光性树脂组合物时，可以有效地提供具有较高透射率以及较高分辨率的固化膜，且对工艺设备无任何限制。另外，当由热酸产生剂产生的酸基为具有‑5或小于‑5的pKa值的强酸时，可以使固化膜的透射率增加最大化。

技术领域

本发明涉及一种感光性树脂组合物和由其制备的固化膜。具体地说，本发明涉及一种正型感光性树脂组合物(即使省略光褪色处理，可以由其提供具有较高透射率和较高分辨率的有机膜)和一种由其制备且用于液晶显示器或有机EL显示器的固化膜。

背景技术

一般来说，透明的平坦化膜出于绝缘的目的形成于薄膜晶体管(TFT)衬底上以防止液晶显示器或有机EL显示器中的透明电极与数据线之间接触。通过在数据线附近放置透明的像素电极，可以增加面板的孔隙比且可以获得高亮度/分辨率。为了形成此类透明的平坦化膜，采用数个处理步骤来赋予特定图案轮廓，且正型感光性树脂组合物由于需要的处理步骤较少而广泛用于此方法中。具体地说，含有硅氧烷聚合物的正型感光性树脂组合物熟知为具有高耐热性、高透明度以及低介电常量的材料。

然而，当包含硅氧烷聚合物的常规正型感光性树脂组合物用于制造固化膜时，在曝光处理和显影处理之后且在硬烘烤处理之前需要光褪色处理。如果在无光褪色处理的情况下执行硬烘烤处理，那么不去除作为正型感光性树脂组合物的最重要组分之一的二迭氮醌化合物与硅氧烷聚合物之间的氢键，且获得淡红色有机膜而非透明的有机膜。因此，透射率(具体地说，约400nm到600nm波长范围内的透射率)劣化。

因此，在施加正型感光性树脂组合物的工艺设备中必不可少地需要光褪色设备。然而，由于使用光引发剂而非二迭氮醌化合物作为感光剂的负型固化膜的制造工艺中未安装用于光褪色处理的设备，因此在将正型感光性树脂组合物施加到用于制造负型固化膜的工艺设备的情况下应另外安装用于光褪色处理的设备。

发明内容

技术难题

因此，本发明的目标为提供一种即使省略光褪色处理可以提供具有较高透射率及较高分辨率的有机膜的正型感光性树脂组合物，和一种由其制备且用于液晶显示器或有机EL显示器的固化膜。

问题的解决方案

根据本发明的一个方面，提供一种感光性树脂组合物，其包括：(A)硅氧烷聚合物；(B)1,2-二迭氮醌化合物；以及(C)具有-5到-24的pKa值的热酸产生剂。

根据本发明的另一方面，提供一种制备固化膜的方法，其包括：在衬底上涂布感光性树脂组合物以形成涂层；暴露涂层且使涂层显影以形成图案；且固化其上形成图案的涂层，且不对涂层执行光褪色处理。

根据本发明的另外方面，提供一种利用以上制备方法形成的含硅固化膜。

本发明的有利效果

由于本发明的感光性树脂组合物另外包含除常规硅氧烷聚合物和二迭氮醌化合物以外的热酸产生剂，所以二迭氮醌化合物的重氮基萘醌基团(DNQ)与硅氧烷聚合物之间的氢键可以利用由热酸产生剂产生的酸来裂解，即使在固化膜的制造期间不执行光褪色处理。因此，当使用感光性树脂组合物时，可以有效地提供具有较高透射率及较高分辨率的固化膜，且不对工艺设备进行任何限制。另外，当热酸产生剂为具有-5或小于-5的pKa值的强酸时，由热酸产生剂产生的酸基可以甚至进一步最大化固化膜的透射率的增加。

具体实施方式

根据本发明的感光性树脂组合物包括(A)硅氧烷聚合物、(B)1,2-二迭氮醌化合物以及(C)热酸产生剂，且可以任选地进一步包含(D)环氧化合物、(E)溶剂、(F)表面活性剂和/或(G)粘着辅助剂。