[发明专利]膜形成方法及膜形成装置在审
| 申请号： | 201780041443.7 | 申请日： | 2017-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN109475895A | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 野本刚;冈本裕司 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | B05C5/00 | 分类号： | B05C5/00;B05C11/10;B05D1/26;B05D3/00;B41J2/01;G06F3/041;H01L21/027 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种膜形成方法及膜形成装置，一边使基板相对于喷墨头相对移动，一边基于用于定义应形成膜的图案的图案数据，从喷墨头向基板吐出液滴而在所述基板形成膜。喷墨头和基板的相对移动方向与由图案数据所定义的图案的最小尺寸的方向正交。能够利用喷墨印刷技术，高精细度地形成图案中的赋予最小尺寸的边缘。 | ||
| 搜索关键词： | 喷墨头 基板 膜形成装置 图案数据 相对移动 膜形成 图案 喷墨印刷技术 方向正交 高精细度 基板相对 吐出 液滴 赋予 | ||
【主权项】：
1.一种膜形成方法，一边使基板相对于喷墨头相对移动，一边基于用于定义应形成膜的图案的图案数据，从所述喷墨头向所述基板吐出液滴而在所述基板形成膜，其中，所述喷墨头和所述基板的相对移动方向与所述图案的最小尺寸的方向正交。
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