[发明专利]氧化物烧结体以及溅射靶有效
| 申请号： | 201780036417.5 | 申请日： | 2017-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN109311756B | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 井上一吉;笘井重和;柴田雅敏;竹岛基浩 | 申请（专利权）人： | 出光兴产株式会社 |
| 主分类号： | C04B35/01 | 分类号： | C04B35/01;C23C14/34;H01B1/08;H01B5/14;H01L21/363;H01B13/00 |
| 代理公司： | 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 | 代理人： | 毛立群 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
一种氧化物烧结体，含有以In |
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| 搜索关键词： | 氧化物 烧结 以及 溅射 | ||
【主权项】：
1.一种氧化物烧结体，其特征在于，含有以In2O3表示的方铁锰矿相以及以Y3In2Ga3O12表示的石榴石相。
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